在X射線熒光光譜定量分析這一精密的檢測技術中，不確定度如同隱藏在精準數據背后的“迷霧”，其來源廣泛且復雜，對分析結果的可靠性有著重要影響。
儀器因素是不確定度的重要源頭之一。X射線管作為激發源，其輸出強度的穩定性直接關系到X熒光光譜儀激發樣品產生特征X射線的效率。若X射線管老化、電壓波動，輸出強度就會不穩定，導致檢測到的熒光信號強度出現偏差，進而影響定量分析結果。探測器的性能同樣關鍵，其分辨率、靈敏度和線性范圍等特性決定了對熒光信號的捕捉和轉換能力。探測器分辨率不足，可能無法準確區分相近能量的特征X射線，使測量結果出現誤差；靈敏度下降則會導致弱信號丟失，影響分析的準確性。
樣品因素也不容忽視。樣品的均勻性對分析結果影響顯著。若樣品中元素分布不均勻，不同部位的測量值會有差異，難以獲得具有代表性的準確結果。樣品的表面狀態同樣重要，表面粗糙、存在污染或氧化層等，都會改變熒光分析儀X射線的激發和散射條件，影響熒光信號的強度和特征，從而引入不確定度。此外，樣品的基體效應也是一個復雜且難以完全消除的因素。不同元素之間會相互影響，如吸收-增強效應，會使某些元素的測量值偏離真實值。
環境條件的變化也會帶來不確定度。溫度波動可能影響儀器的電子元件性能，導致信號處理出現偏差；濕度變化可能使樣品表面性質發生改變，影響X射線的相互作用。同時，分析過程中的操作因素，如樣品制備方法、測量時間的選擇等，若操作不當，也會對結果產生干擾。
為了降低X射線熒光光譜定量分析中的不確定度，需要從儀器校準、樣品處理、環境控制以及規范操作等多方面入手，盡可能減少這些不確定度來源的影響，從而提高分析結果的準確性和可靠性。